{ "id": 262, "date": "2024-02-27T16:53:20", "date_gmt": "2024-02-27T15:53:20", "guid": { "rendered": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/?page_id=262" }, "modified": "2024-06-11T13:48:03", "modified_gmt": "2024-06-11T11:48:03", "slug": "laboratorium-epitaksji-ze-zwiazkow-metaloorganicznych-movpe", "status": "publish", "type": "page", "link": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/?page_id=262", "title": { "rendered": "Laboratorium Epitaksji ze Zwi\u0105zk\u00f3w Metaloorganicznych (MOVPE)" }, "content": { "rendered": "

Pracownicy laboratorium MOVPE:<\/p>\n

dr Aleksandra D\u0105browska<\/a><\/p>\n

mgr Jerzy Plesiewicz<\/a><\/p>\n

pomieszczenie: 01.227<\/p>\n

MOVPE (METAL ORGANIC VAPOUR PHASE EPITAXY)<\/h5>\n\n\n
\n
\n
\"\"
zdj\u0119cia: Krzysztof Paku\u0142a<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
\n
\"\"<\/figure>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n

System MOCVD AIXTRON CCS 3\u00d72\u201d to urz\u0105dzenie do epitaksji ze zwi\u0105zk\u00f3w metaloorganicznych umo\u017cliwiaj\u0105ce osadzanie materia\u0142\u00f3w p\u00f3\u0142przewodnikowych na trzech 2-calowych pod\u0142o\u017cach jednocze\u015bnie. Rozwi\u0105zanie Close Coupled Showerhead (CCS) zapewnia jednorodne dostarczanie reagent\u00f3w poprzez pokryw\u0119 reaktora. Nasz uk\u0142ad jest dedykowany do wzrostu p\u00f3\u0142przewodnikowych zwi\u0105zk\u00f3w azotu, dzi\u0119ki posiadanym prekursorom mo\u017cliwe jest hodowanie takich materia\u0142\u00f3w jak GaN, BN, AlN, InN oraz domieszkowanie wszystkich wymienionych na typ p (Mg) oraz n (Si). Reaktor zapewnia mo\u017cliwo\u015b\u0107 wzrostu w obni\u017conym ci\u015bnieniu (50 -1150 mbar) oraz w temperaturze do 1400\u00b0C. Reaktor jest wyposa\u017cony w dwa uk\u0142ady do kontroli wzrostu\u00a0in situ<\/em>. Za pomoc\u0105 interferometru (Multi Wafer Interferometer) mo\u017cliwa jest obserwacja odbicia od rosn\u0105cej warstwy, natomiast pirometr optyczny \u2013 ARGUS pozwala na dok\u0142adn\u0105 kontrol\u0119 rozk\u0142adu temperatury na wszystkich umieszczonych wewn\u0105trz reaktora pod\u0142o\u017cach.<\/p>\n

Powi\u0105zane strony:<\/p>\n

Layered Materials Laboratory (LML)<\/a><\/p>", "protected": false }, "excerpt": { "rendered": "

Pracownicy laboratorium MOVPE: dr Aleksandra D\u0105browska mgr Jerzy Plesiewicz pomieszczenie: 01.227 MOVPE (METAL ORGANIC VAPOUR PHASE EPITAXY) System MOCVD AIXTRON CCS 3\u00d72\u201d to urz\u0105dzenie do epitaksji ze zwi\u0105zk\u00f3w metaloorganicznych umo\u017cliwiaj\u0105ce osadzanie materia\u0142\u00f3w p\u00f3\u0142przewodnikowych na trzech 2-calowych pod\u0142o\u017cach jednocze\u015bnie. Rozwi\u0105zanie Close Coupled Showerhead (CCS) zapewnia jednorodne dostarczanie reagent\u00f3w poprzez pokryw\u0119 reaktora. Nasz uk\u0142ad jest dedykowany do […]<\/p>", "protected": false }, "author": 4, "featured_media": 0, "parent": 8, "menu_order": 0, "comment_status": "closed", "ping_status": "closed", "template": "", "meta": { "footnotes": "" }, "class_list": [ "post-262", "page", "type-page", "status-publish", "hentry" ], "_links": { "self": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/262", "targetHints": { "allow": [ "GET" ] } } ], "collection": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages" } ], "about": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/page" } ], "author": [ { "embeddable": true, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/4" } ], "replies": [ { "embeddable": true, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=262" } ], "version-history": [ { "count": 10, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/262\/revisions" } ], "predecessor-version": [ { "id": 568, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/262\/revisions\/568" } ], "up": [ { "embeddable": true, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/8" } ], "wp:attachment": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=262" } ], "curies": [ { "name": "wp", "href": "https:\/\/api.w.org\/{rel}", "templated": true } ] } }