{ "id": 363, "date": "2024-02-29T15:58:17", "date_gmt": "2024-02-29T14:58:17", "guid": { "rendered": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/?page_id=363" }, "modified": "2025-07-15T15:57:01", "modified_gmt": "2025-07-15T13:57:01", "slug": "laboratorium-litografii", "status": "publish", "type": "page", "link": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/?page_id=363", "title": { "rendered": "Laboratorium Litografii" }, "content": { "rendered": "

Pracownicy Laboratorium Litografii:<\/p>\n

dr Karol Nogajewski<\/a><\/p>\n

mgr Natasza Gajda<\/a><\/p>\n

pomieszczenie biurowe: 01.231<\/p>\n

    \n
  1. Uk\u0142ad do trawienia plazmowego Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP-RIE<\/li>\n
  2. Naparowywarka ze \u017ar\u00f3d\u0142em elektronowym i argonowym dzia\u0142em jonowym Plasmionique EBH600<\/li>\n
  3. Piec do szybkiego wygrzewania SSI Solaris 100 RTP<\/li>\n
  4. Komory r\u0119kawicowe, jedna z uk\u0142adem transferowym z mikroskopem odbiciowym Olympus<\/li>\n
  5. Suszarka w punkcie krytycznym Leica EM CPD 300<\/li>\n
  6. Stacja do zarysowywania pr\u00f3bek<\/li>\n
  7. Szafa chemiczna kombinowana ognioodporna 90 min. z urz\u0105dzeniem filtruj\u0105cym powietrze CFN 160m3\/h<\/li>\n
  8. Zmywarka laboratoryjna Salvislab SC1160<\/li>\n
  9. Demineralizator Hydrolab HLP 5 do wytwarzania wody demineralizowanej<\/li>\n
  10. Dwa mikroskopy optyczne, s\u0142u\u017c\u0105ce do wizualnej oceny pr\u00f3bek: Nikon Eclipse E200 i\u00a0<\/li>\n
  11. Na\u015bwietlarka UV – p\u00f3\u0142automatyczny Mask-Aligner MJB 3<\/li>\n
  12. Suszarka pr\u00f3\u017cniowa Vacuum Drying Oven VT 6025<\/li>\n
  13. Profilometr mechaniczny Veeco Dektak 6M<\/li>\n
  14. Uk\u0142ad do bezmaskowej fotolitografii POLOS \u00b5Printer<\/li>\n
  15. Spin-coatery i hot-plate s\u0142u\u017c\u0105ce do pokrywania pod\u0142o\u017cy p\u00f3\u0142przewodnikowych fotoczu\u0142ymi rezystami<\/li>\n
  16. Trzy dygestoria, sprz\u0119t szklany i odczynniki chemiczne potrzebne do mokrego trawienia p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w<\/li>\n<\/ol>\n\n\n

    <\/p>\n\n\n\n

    \"\"
    uk\u0142ad do trawienia plazmowego Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP-RIE<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    naparowywarka ze \u017ar\u00f3d\u0142em elektronowym i argonowym dzia\u0142em jonowym Plasmionique EBH600<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    piec do szybkiego wygrzewania SSI Solaris 100 RTP<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    komory r\u0119kawicowe, w prawej uk\u0142ad transferowy z mikroskopem odbiciowym Olympus<\/figcaption><\/figure>\n\n\n

    W celu poszerzenia gamy tych materia\u0142\u00f3w o takie, kt\u00f3re wykazuj\u0105 bardzo ciekawe w\u0142a\u015bciwo\u015bci fizyczne, ale s\u0105 jednocze\u015bnie podatne na niekorzystny wp\u0142yw czynnik\u00f3w atmosferycznych (tlen, para wodna), w laboratorium zosta\u0142 zainstalowany uk\u0142ad dw\u00f3ch po\u0142\u0105czonych ze sob\u0105 kom\u00f3r r\u0119kawicowych. Jedna z nich umo\u017cliwia prac\u0119 w ochronnej atmosferze azotowej o wzgl\u0119dnym st\u0119\u017ceniu tlenu i pary wodnej wynosz\u0105cym poni\u017cej 0,5%. Komora ta jest przeznaczona do wst\u0119pnego przygotowania pr\u00f3bek, np. przeprowadzenia procesu eksfoliacji mechanicznej kryszta\u0142\u00f3w obj\u0119to\u015bciowych. W drugiej, w pe\u0142ni zautomatyzowanej komorze wype\u0142nionej azotow\u0105 atmosfer\u0105 ochronn\u0105 o st\u0119\u017ceniu tlenu i pary wodnej poni\u017cej 0,5 ppm zamkni\u0119ty zosta\u0142 z kolei precyzyjny uk\u0142ad transferowy z mikroskopem odbiciowym Olympus.<\/p>\n\n\n

    \n
    \n
    \"\"
    stanowisko do eksfoliacji<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
    \n
    \"\"
    suszarka w punkcie krytycznym Leica EM CPD 300<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n\n
    \n
    \n
    \"\"
    stacja do zarysowywania pr\u00f3bek<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
    <\/div>\n<\/div>\n\n\n\n
    Wyposa\u017cenie g\u0142\u00f3wnego pomieszczenia laboratoryjnego<\/h5>\n\n\n\n
    \"\"
    dwa dygestoria wyposa\u017cone w myjk\u0119 ultrad\u017awi\u0119kow\u0105, spin-coater i hot-plate<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \n
    \n
    \"\"
    szafa chemiczna ognioodporna 90 min. z urz\u0105dzeniem filtruj\u0105cym powietrze CFN 160m3\/h<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
    \n
    \"\"
    zmywarka laboratoryjna Salvislab SC1160<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n\n
    \n
    \n
    \"\"
    demineralizator Hydrolab HLP 5 <\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
    <\/div>\n<\/div>\n\n\n\n
    \n
    \n
    \"\"
    mikroskop<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
    \n
    \"\"
    mikroskop Nikon Eclipse E200<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n
    Wyposa\u017cenie laboratorium z \u017c\u00f3\u0142tym \u015bwiat\u0142em<\/h5>\n\n\n
    \n
    \n
    \"\"<\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
    \n
    \"\"<\/figure>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n

    Na\u015bwietlarka UV – p\u00f3\u0142automatyczny Mask-Aligner MJB 3<\/p>\n\n\n

    \n
    \n
    \"\"
    suszarka pr\u00f3\u017cniowa Vacuum Drying Oven VT 6025<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
    \n
    \"\"
    mikroskop<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n\n
    \n
    \n
    \"\"<\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
    \n
    \"\"<\/figure>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n

    Profilometr mechaniczny Veeco Dektak 6M<\/p>\n\n\n

    \n
    \n
    \"\"
    uk\u0142ad do bezmaskowej fotolitografii POLOS \u00b5Printer<\/figcaption><\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
    <\/div>\n<\/div>\n\n\n\n
    \n
    <\/div>\n\n\n\n
    <\/div>\n<\/div>", "protected": false }, "excerpt": { "rendered": "

    Pracownicy Laboratorium Litografii: dr Karol Nogajewski mgr Natasza Gajda pomieszczenie biurowe: 01.231 Uk\u0142ad do trawienia plazmowego Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP-RIE Naparowywarka ze \u017ar\u00f3d\u0142em elektronowym i argonowym dzia\u0142em jonowym Plasmionique EBH600 Piec do szybkiego wygrzewania SSI Solaris 100 RTP Komory r\u0119kawicowe, jedna z uk\u0142adem transferowym z mikroskopem odbiciowym Olympus Suszarka w punkcie krytycznym Leica […]<\/p>", "protected": false }, "author": 4, "featured_media": 0, "parent": 8, "menu_order": 0, "comment_status": "closed", "ping_status": "closed", "template": "", "meta": { "footnotes": "" }, "class_list": [ "post-363", "page", "type-page", "status-publish", "hentry" ], "_links": { "self": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/363", "targetHints": { "allow": [ "GET" ] } } ], "collection": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages" } ], "about": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/page" } ], "author": [ { "embeddable": true, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/4" } ], "replies": [ { "embeddable": true, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=363" } ], "version-history": [ { "count": 41, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/363\/revisions" } ], "predecessor-version": [ { "id": 712, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/363\/revisions\/712" } ], "up": [ { "embeddable": true, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/8" } ], "wp:attachment": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=363" } ], "curies": [ { "name": "wp", "href": "https:\/\/api.w.org\/{rel}", "templated": true } ] } }