{ "id": 687, "date": "2025-07-08T15:42:35", "date_gmt": "2025-07-08T13:42:35", "guid": { "rendered": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/?page_id=687" }, "modified": "2025-08-22T16:51:01", "modified_gmt": "2025-08-22T14:51:01", "slug": "fotolitografia-czyli-rzezbienie-swiatlem-odslona-druga-barwy", "status": "publish", "type": "page", "link": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/?page_id=687", "title": { "rendered": "Fotolitografia, czyli rze\u017abienie \u015bwiat\u0142em. Ods\u0142ona druga \u2013 barwy." }, "content": { "rendered": "

W dniach 1-4 lipca 2024 r. we Wroc\u0142awiu odby\u0142o si\u0119 XXIV Spotkanie Og\u00f3lnopolskiego Klubu Demonstrator\u00f3w Fizyki. Gospodarzem spotkania by\u0142 Wydzia\u0142 Podstawowych Problem\u00f3w Techniki na Politechnice Wroc\u0142awskiej.<\/p>\n\n\n\n

W czasie tego spotkania Laboratorium Litografii Nanotechu reprezentowane by\u0142o przez Natasz\u0119 Gajd\u0119<\/strong> oraz Karola Nogajewskiego<\/strong>.<\/p>\n\n\n\n

Tytu\u0142: Fotolitografia, czyli rze\u017abienie \u015bwiat\u0142em. Ods\u0142ona druga \u2013 barwy.<\/strong><\/p>\n\n\n\n

Opis prezentacji: <\/p>\n\n\n\n

Podczas XXII SOKDF zabrali\u015bmy Pa\u0144stwa na wirtualn\u0105 wycieczk\u0119 do Laboratorium Litografii Zak\u0142adu Fizyki Cia\u0142a Sta\u0142ego Wydzia\u0142u Fizyki Uniwersytetu Warszawskiego, a tak\u017ce zaprezentowali\u015bmy Pa\u0144stwu przebieg prostego procesu technologicznego obejmuj\u0105cego kluczowe etapy fotolitografii, czyli stosowanej na przemys\u0142ow\u0105 skal\u0119 techniki \u201erze\u017abienia \u015bwiat\u0142em\u201d. W tym roku postanowili\u015bmy zawiesi\u0107 poprzeczk\u0119 nieco wy\u017cej i pokaza\u0107 Pa\u0144stwu bardziej z\u0142o\u017cony proces, kt\u00f3rego efekt pozwala zrozumie\u0107 wp\u0142yw interferencji \u015bwiat\u0142a na postrzeganie barw. Zobaczycie Pa\u0144stwo, jak z pozornie ma\u0142o ciekawego kawa\u0142ka krzemu mo\u017cna wydoby\u0107 wielokolorowy, pe\u0142en szczeg\u00f3\u0142\u00f3w obraz.<\/p>\n\n\n\n

Rekwizyt, kt\u00f3ry wykorzystali\u015bmy w czasie naszego pokazu, przygotowali\u015bmy na dwucalowym pod\u0142o\u017cu krzemowym pokrytym 300-nanometrow\u0105 warstw\u0105 dwutlenku krzemu. Wykonali\u015bmy go technik\u0105 czteropoziomowej litografii optycznej.<\/p>\n\n\n\n

W czasie przygotowania tego rekwizytu wykorzystali\u015bmy szereg urz\u0105dze\u0144 dost\u0119pnych w laboratoriach Nanotech, takich jak:<\/p>\n\n\n\n

    \n
  1. wir\u00f3wka i p\u0142yta grzewcza, s\u0142u\u017c\u0105ce do pokrywania pod\u0142o\u017cy fotoczu\u0142ymi rezystami<\/li>\n\n\n\n
  2. uk\u0142ad do bezmaskowej fotolitografii POLOS \u00b5Printer<\/li>\n\n\n\n
  3. uk\u0142ad do trawienia plazmowego Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP-RIE<\/li>\n\n\n\n
  4. profilometr mechaniczny Veeco Dektak 6M<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n
    \"\"
    Ko\u0144cowy rekwizyt wykonany czteropoziomow\u0105 litografi\u0105 optyczn\u0105.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Karol<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Projekt rekwizytu obejmuj\u0105cy czteropoziomow\u0105 litografi\u0119 optyczn\u0105<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Wyodr\u0119bnienie z wyj\u015bciowego projektu poszczeg\u00f3lnych poziom\u00f3w kolorystycznych. Czarne obszary zosta\u0142y na\u015bwietlone.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Podzielenie ka\u017cdej z masek litograficznych na indywidualne kadry.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Schemat przedstawiaj\u0105cy sekwencj\u0119 krok\u00f3w technologicznych, kt\u00f3re przeprowadzili\u015bmy w celu wytworzenia pojedynczego poziomu o zadanej barwie.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Uk\u0142ady technologiczne, dzi\u0119ku kt\u00f3rym mogli\u015bmy przygotowa\u0107 omawiany rekwizyt.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Ko\u0144cowy rezultat<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Pomiar g\u0142\u0119boko\u015bci wytrawienia za pomoc\u0105 profilometru\u00a0mechanicznego Veeco Dektak 6M<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Pomiar g\u0142\u0119boko\u015bci wytrawienia za pomoc\u0105 profilometru\u00a0mechanicznego Veeco Dektak 6M<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n

    <\/p>", "protected": false }, "excerpt": { "rendered": "

    W dniach 1-4 lipca 2024 r. we Wroc\u0142awiu odby\u0142o si\u0119 XXIV Spotkanie Og\u00f3lnopolskiego Klubu Demonstrator\u00f3w Fizyki. Gospodarzem spotkania by\u0142 Wydzia\u0142 Podstawowych Problem\u00f3w Techniki na Politechnice Wroc\u0142awskiej. W czasie tego spotkania Laboratorium Litografii Nanotechu reprezentowane by\u0142o przez Natasz\u0119 Gajd\u0119 oraz Karola Nogajewskiego. Tytu\u0142: Fotolitografia, czyli rze\u017abienie \u015bwiat\u0142em. Ods\u0142ona druga \u2013 barwy. Opis prezentacji: Podczas XXII SOKDF zabrali\u015bmy Pa\u0144stwa na wirtualn\u0105 […]<\/p>", "protected": false }, "author": 4, "featured_media": 0, "parent": 864, "menu_order": 0, "comment_status": "closed", "ping_status": "closed", "template": "", "meta": { "footnotes": "" }, "class_list": [ "post-687", "page", "type-page", "status-publish", "hentry" ], "_links": { "self": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/687", "targetHints": { "allow": [ "GET" ] } } ], "collection": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages" } ], "about": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/page" } ], "author": [ { "embeddable": true, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/4" } ], "replies": [ { "embeddable": true, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=687" } ], "version-history": [ { "count": 17, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/687\/revisions" } ], "predecessor-version": [ { "id": 813, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/687\/revisions\/813" } ], "up": [ { "embeddable": true, "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/864" } ], "wp:attachment": [ { "href": "https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/en\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=687" } ], "curies": [ { "name": "wp", "href": "https:\/\/api.w.org\/{rel}", "templated": true } ] } }