{"id":687,"date":"2025-07-08T15:42:35","date_gmt":"2025-07-08T13:42:35","guid":{"rendered":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/?page_id=687"},"modified":"2025-08-22T16:51:01","modified_gmt":"2025-08-22T14:51:01","slug":"fotolitografia-czyli-rzezbienie-swiatlem-odslona-druga-barwy","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/?page_id=687","title":{"rendered":"Fotolitografia, czyli rze\u017abienie \u015bwiat\u0142em. Ods\u0142ona druga \u2013 barwy."},"content":{"rendered":"\n

W dniach 1-4 lipca 2024 r. we Wroc\u0142awiu odby\u0142o si\u0119 XXIV Spotkanie Og\u00f3lnopolskiego Klubu Demonstrator\u00f3w Fizyki. Gospodarzem spotkania by\u0142 Wydzia\u0142 Podstawowych Problem\u00f3w Techniki na Politechnice Wroc\u0142awskiej.<\/p>\n\n\n\n

W czasie tego spotkania Laboratorium Litografii Nanotechu reprezentowane by\u0142o przez Natasz\u0119 Gajd\u0119<\/strong> oraz Karola Nogajewskiego<\/strong>.<\/p>\n\n\n\n

Tytu\u0142: Fotolitografia, czyli rze\u017abienie \u015bwiat\u0142em. Ods\u0142ona druga \u2013 barwy.<\/strong><\/p>\n\n\n\n

Opis prezentacji: <\/p>\n\n\n\n

Podczas XXII SOKDF zabrali\u015bmy Pa\u0144stwa na wirtualn\u0105 wycieczk\u0119 do Laboratorium Litografii Zak\u0142adu Fizyki Cia\u0142a Sta\u0142ego Wydzia\u0142u Fizyki Uniwersytetu Warszawskiego, a tak\u017ce zaprezentowali\u015bmy Pa\u0144stwu przebieg prostego procesu technologicznego obejmuj\u0105cego kluczowe etapy fotolitografii, czyli stosowanej na przemys\u0142ow\u0105 skal\u0119 techniki \u201erze\u017abienia \u015bwiat\u0142em\u201d. W tym roku postanowili\u015bmy zawiesi\u0107 poprzeczk\u0119 nieco wy\u017cej i pokaza\u0107 Pa\u0144stwu bardziej z\u0142o\u017cony proces, kt\u00f3rego efekt pozwala zrozumie\u0107 wp\u0142yw interferencji \u015bwiat\u0142a na postrzeganie barw. Zobaczycie Pa\u0144stwo, jak z pozornie ma\u0142o ciekawego kawa\u0142ka krzemu mo\u017cna wydoby\u0107 wielokolorowy, pe\u0142en szczeg\u00f3\u0142\u00f3w obraz.<\/p>\n\n\n\n

Rekwizyt, kt\u00f3ry wykorzystali\u015bmy w czasie naszego pokazu, przygotowali\u015bmy na dwucalowym pod\u0142o\u017cu krzemowym pokrytym 300-nanometrow\u0105 warstw\u0105 dwutlenku krzemu. Wykonali\u015bmy go technik\u0105 czteropoziomowej litografii optycznej.<\/p>\n\n\n\n

W czasie przygotowania tego rekwizytu wykorzystali\u015bmy szereg urz\u0105dze\u0144 dost\u0119pnych w laboratoriach Nanotech, takich jak:<\/p>\n\n\n\n

    \n
  1. wir\u00f3wka i p\u0142yta grzewcza, s\u0142u\u017c\u0105ce do pokrywania pod\u0142o\u017cy fotoczu\u0142ymi rezystami<\/li>\n\n\n\n
  2. uk\u0142ad do bezmaskowej fotolitografii POLOS \u00b5Printer<\/li>\n\n\n\n
  3. uk\u0142ad do trawienia plazmowego Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP-RIE<\/li>\n\n\n\n
  4. profilometr mechaniczny Veeco Dektak 6M<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n
    \"\"
    Ko\u0144cowy rekwizyt wykonany czteropoziomow\u0105 litografi\u0105 optyczn\u0105.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Karol<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Projekt rekwizytu obejmuj\u0105cy czteropoziomow\u0105 litografi\u0119 optyczn\u0105<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Wyodr\u0119bnienie z wyj\u015bciowego projektu poszczeg\u00f3lnych poziom\u00f3w kolorystycznych. Czarne obszary zosta\u0142y na\u015bwietlone.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Podzielenie ka\u017cdej z masek litograficznych na indywidualne kadry.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Schemat przedstawiaj\u0105cy sekwencj\u0119 krok\u00f3w technologicznych, kt\u00f3re przeprowadzili\u015bmy w celu wytworzenia pojedynczego poziomu o zadanej barwie.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Uk\u0142ady technologiczne, dzi\u0119ku kt\u00f3rym mogli\u015bmy przygotowa\u0107 omawiany rekwizyt.<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Ko\u0144cowy rezultat<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Pomiar g\u0142\u0119boko\u015bci wytrawienia za pomoc\u0105 profilometru\u00a0mechanicznego Veeco Dektak 6M<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Pomiar g\u0142\u0119boko\u015bci wytrawienia za pomoc\u0105 profilometru\u00a0mechanicznego Veeco Dektak 6M<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n

    <\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

    W dniach 1-4 lipca 2024 r. we Wroc\u0142awiu odby\u0142o si\u0119 XXIV Spotkanie Og\u00f3lnopolskiego Klubu Demonstrator\u00f3w Fizyki. Gospodarzem spotkania by\u0142 Wydzia\u0142 Podstawowych Problem\u00f3w Techniki na Politechnice Wroc\u0142awskiej. W czasie tego spotkania Laboratorium Litografii Nanotechu reprezentowane by\u0142o przez Natasz\u0119 Gajd\u0119 oraz Karola Nogajewskiego. Tytu\u0142: Fotolitografia, czyli rze\u017abienie \u015bwiat\u0142em. Ods\u0142ona druga \u2013 barwy. Opis prezentacji: Podczas XXII SOKDF zabrali\u015bmy Pa\u0144stwa na wirtualn\u0105 […]<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":0,"parent":864,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"","meta":{"footnotes":""},"class_list":["post-687","page","type-page","status-publish","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/687","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=687"}],"version-history":[{"count":17,"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/687\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":813,"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/687\/revisions\/813"}],"up":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/864"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=687"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}