{"id":692,"date":"2025-07-08T15:46:53","date_gmt":"2025-07-08T13:46:53","guid":{"rendered":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/?page_id=692"},"modified":"2025-08-22T16:50:17","modified_gmt":"2025-08-22T14:50:17","slug":"fotolitografia-czyli-rzezbienie-swiatlem-2","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/?page_id=692","title":{"rendered":"Fotolitografia, czyli rze\u017abienie \u015bwiat\u0142em"},"content":{"rendered":"\n

W dniach 28-30 czerwca 2022 r. w Warszawie odby\u0142o si\u0119 XXII Spotkanie Og\u00f3lnopolskiego Klubu Demonstrator\u00f3w Fizyki. Gospodarzem spotkania by\u0142 Wydzia\u0142 Fizyki Uniwersytetu Warszawskiego.<\/p>\n\n\n\n

W czasie tego spotkania Laboratorium Litografii Nanotechu reprezentowane by\u0142o przez Natasz\u0119 Gajd\u0119<\/strong> oraz Karola Nogajewskiego<\/strong>.<\/p>\n\n\n\n

Tytu\u0142: Fotolitografia, czyli rze\u017abienie \u015bwiat\u0142em<\/strong><\/p>\n\n\n\n

Opis prezentacji:<\/p>\n\n\n\n

W dobie powszechnej dost\u0119pno\u015bci do aparat\u00f3w cyfrowych, kt\u00f3re cz\u0119\u015b\u0107 z nas nosi na co dzie\u0144 przy sobie w telefonach kom\u00f3rkowych, w coraz wi\u0119ksz\u0105 niepami\u0119\u0107 odchodzi klasyczna fotografia. Mo\u017cna odnie\u015b\u0107 wra\u017cenie, \u017ce jej technikami pos\u0142uguj\u0105 si\u0119 ju\u017c niemal wy\u0142\u0105cznie arty\u015bci fotograficy i pasjonaci dawnych czas\u00f3w. Czy jest to jednak prawdziwy obraz rzeczywisto\u015bci? Okazuje si\u0119, \u017ce nie! Ot\u00f3\u017c bez na poz\u00f3r staro\u015bwieckich metod fotograficznych nie istnia\u0142by na przyk\u0142ad bezkresny \u015bwiat urz\u0105dze\u0144 opartych na miniaturowych scalonych uk\u0142adach elektronicznych!<\/p>\n\n\n\n

W niniejszej prezentacji chcieliby\u015bmy pokaza\u0107 Pa\u0144stwu przebieg prostego procesu technologicznego obejmuj\u0105cego kluczowe etapy fotolitografii, czyli stosowanej na przemys\u0142ow\u0105 skal\u0119 techniki \u201erze\u017abienia \u015bwiat\u0142em\u201d, kt\u00f3ra pozwala na wytwarzanie w materii sta\u0142ej detali o rozmiarach schodz\u0105cych nawet do pojedynczych nanometr\u00f3w. W tym celu zabierzemy Pa\u0144stwa na wirtualn\u0105 wycieczk\u0119 do Laboratorium Litografii Zak\u0142adu Fizyki Cia\u0142a Sta\u0142ego Wydzia\u0142u Fizyki Uniwersytetu Warszawskiego, a do Pa\u0144stwa r\u0105k oddamy ko\u0144cowy efekt naszego modelowego procesu, kt\u00f3rego szczeg\u00f3\u0142y b\u0119d\u0105 Pa\u0144stwo mogli obejrze\u0107 pod lup\u0105.<\/p>\n\n\n

Rekwizyt, kt\u00f3ry wykorzystali\u015bmy w czasie naszego pokazu, przygotowali\u015bmy na kawa\u0142ku pod\u0142o\u017ca krzemowego pokrytego 300-nanometrow\u0105 warstw\u0105 dwutlenku krzemu.<\/p>\n

W czasie przygotowania tego rekwizytu wykorzystali\u015bmy szereg urz\u0105dze\u0144 dost\u0119pnych w laboratoriach Nanotech, takich jak:<\/p>\n

    \n
  1. wir\u00f3wka i p\u0142yta grzewcza, s\u0142u\u017c\u0105ce do pokrywania pod\u0142o\u017cy fotoczu\u0142ymi rezystami<\/li>\n
  2. uk\u0142ad do bezmaskowej fotolitografii POLOS \u00b5Printer<\/li>\n
  3. uk\u0142ad do trawienia plazmowego Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP-RIE<\/li>\n
  4. profilometr\u00a0mechaniczny Veeco Dektak 6M<\/li>\n
  5. mikroskop Nikon Eclipse ME600 z kontrastem Nomarskiego\u00a0<\/li>\n<\/ol>\n\n\n
    \"\"
    Nasz plan rze\u017abienia \u015bwiat\u0142em<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Nak\u0142adanie \u017cywicy z wykorzystaniem wir\u00f3wki i p\u0142yty grzewczej, pokrywanie pod\u0142o\u017cy fotoczu\u0142ymi rezystami<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Na\u015bwietlanie z wykorzystaniem uk\u0142adu do bezmaskowej fotolitografii POLOS \u00b5Printer<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Na\u015bwietlanie z wykorzystaniem uk\u0142adu do bezmaskowej fotolitografii POLOS \u00b5Printer<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Trawienie plazmowe z wykorzystaniem uk\u0142adu Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP-RIE<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Pomiar g\u0142\u0119boko\u015bci wytrawienia za pomoc\u0105 profilometru mechanicznego Veeco Dektak 6M<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Ig\u0142a profilometru mechanicznego Veeco Dektak 6M podczas pomiaru oraz otrzymany rezultat<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
    \"\"
    Efekt ko\u0144cowy: Logo XXII SOKDF. Zdj\u0119cie wykonane mikroskopem Nikon Eclipse ME600 z kontrastem Nomarskiego<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n

    <\/p>\n\n\n\n

    <\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

    W dniach 28-30 czerwca 2022 r. w Warszawie odby\u0142o si\u0119 XXII Spotkanie Og\u00f3lnopolskiego Klubu Demonstrator\u00f3w Fizyki. Gospodarzem spotkania by\u0142 Wydzia\u0142 Fizyki Uniwersytetu Warszawskiego. W czasie tego spotkania Laboratorium Litografii Nanotechu reprezentowane by\u0142o przez Natasz\u0119 Gajd\u0119 oraz Karola Nogajewskiego. Tytu\u0142: Fotolitografia, czyli rze\u017abienie \u015bwiat\u0142em Opis prezentacji: W dobie powszechnej dost\u0119pno\u015bci do aparat\u00f3w cyfrowych, kt\u00f3re cz\u0119\u015b\u0107 z nas nosi na co […]<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":0,"parent":864,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"","meta":{"footnotes":""},"class_list":["post-692","page","type-page","status-publish","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/692","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=692"}],"version-history":[{"count":23,"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/692\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":796,"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/692\/revisions\/796"}],"up":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/pages\/864"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/nanotech.fuw.edu.pl\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=692"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}