Laboratorium Litografii

Pracownicy Laboratorium Litografii:

dr Karol Nogajewski

mgr Natasza Gajda

pomieszczenie biurowe: 01.231

1. Układ do trawienia plazmowego Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP-RIE. Dostępne gazy:
   • O₂
   • H₂
   • N₂
   • Ar
   • He
   • SF6
   • CHF3
2. Naparowywarka ze źródłem elektronowym i argonowym działem jonowym Plasmionique EBH600
3. Piec do szybkiego wygrzewania SSI Solaris 100 RTP
4. Komory rękawicowe, jedna z układem transferowym z mikroskopem odbiciowym Olympus
5. Profilometr optyczny Rtec Instruments UP-2000
6. Suszarka w punkcie krytycznym Leica EM CPD 300
7. Stacja do zarysowywania próbek
8. Szafa chemiczna kombinowana ognioodporna 90 min. z urządzeniem filtrującym powietrze CFN 160m3/h
9. Zmywarka laboratoryjna Salvislab SC1160
10. Demineralizator Hydrolab HLP 5 do wytwarzania wody demineralizowanej
11. Dwa mikroskopy optyczne, służące do wizualnej oceny próbek: Nikon Eclipse E200 i 
12. Układ do bezmaskowej litografii laserowej Kloé Dilase 650
13. Naświetlarka UV – półautomatyczny Mask-Aligner MJB 3
14. Suszarka próżniowa Vacuum Drying Oven VT 6025
15. Profilometr mechaniczny Veeco Dektak 6M
16. Układ do bezmaskowej fotolitografii POLOS µPrinter
17. Spin-coatery i hot-plate służące do pokrywania podłoży półprzewodnikowych fotoczułymi rezystami
18. Trzy dygestoria, sprzęt szklany i odczynniki chemiczne potrzebne do mokrego trawienia półprzewodników

W celu poszerzenia gamy tych materiałów o takie, które wykazują bardzo ciekawe właściwości fizyczne, ale są jednocześnie podatne na niekorzystny wpływ czynników atmosferycznych (tlen, para wodna), w laboratorium został zainstalowany układ dwóch połączonych ze sobą komór rękawicowych. Jedna z nich umożliwia pracę w ochronnej atmosferze azotowej o względnym stężeniu tlenu i pary wodnej wynoszącym poniżej 0,5%. Komora ta jest przeznaczona do wstępnego przygotowania próbek, np. przeprowadzenia procesu eksfoliacji mechanicznej kryształów objętościowych. W drugiej, w pełni zautomatyzowanej komorze wypełnionej azotową atmosferą ochronną o stężeniu tlenu i pary wodnej poniżej 0,5 ppm zamknięty został z kolei precyzyjny układ transferowy z mikroskopem odbiciowym Olympus.

Wyposażenie głównego pomieszczenia laboratoryjnego

Wyposażenie laboratorium z żółtym światłem

Naświetlarka UV – półautomatyczny Mask-Aligner MJB 3