Agilent B1500A Semiconductor Device Parameter Analyzer
Agilent B1500A Semiconductor Device Parameter Analyzer – jest to układ do wszechstronnej charakteryzacji elektrycznej materiałów półprzewodnikowych i dielektrycznych. Układ wyposażony jest w cztery sondy pomiarowe umieszczone na stanowisku z mikromanipulatorami oraz mikroskopem do precyzyjnego ustawienia pozycji na badanej próbce. Każda z sond może być indywidualnie zaprogramowana do wykonywania określonej procedury pomiarowej, takiej jak pomiar krzywych I-V czy pomiaru metodą van der Pauwa, a także na zautomatyzowanie całej serii pomiarowej. Dodatkowo, poprzez połączenie do układu z układem do pomiaru efektu Halla, możliwe jest wyznaczenie podstawowych parametrów transportowych, takich jak ruchliwość, koncentracja nośników oraz rezystancja właściwa badanego materiału. Układ dedykowany jest także do bardzo słabo przewodzących próbek, jest w stanie wyznaczyć opór materiału sięgający nawet gigaomów.
Ecopia HMS-3000
Ecopia HMS-3000 – układ do pomiaru efektu Halla (Rysunek 3). Układ pomiarowy do charakteryzacji półprzewodników poprzez pomiar efektu Halla metodą van der Pauwa. Jest przeznaczony do szybkiej charakteryzacji próbek, pozwalającej na wyznaczenie podstawowych parametrów elektrycznych danego materiału, takich jak ruchliwość, koncentracja, rezystancja właściwa i powierzchniowa. Wraz z dedykowanym uchwytem do pomiaru, użytkownik jest w stanie zainstalować próbkę bez konieczności lutowania kontaktów (Rysunek 4).
