W dniach 1-4 lipca 2024 r. we Wrocławiu odbyło się XXIV Spotkanie Ogólnopolskiego Klubu Demonstratorów Fizyki. Gospodarzem spotkania był Wydział Podstawowych Problemów Techniki na Politechnice Wrocławskiej.
W czasie tego spotkania Laboratorium Litografii Nanotechu reprezentowane było przez Nataszę Gajdę oraz Karola Nogajewskiego.
Tytuł: Fotolitografia, czyli rzeźbienie światłem. Odsłona druga – barwy.
Opis prezentacji:
Podczas XXII SOKDF zabraliśmy Państwa na wirtualną wycieczkę do Laboratorium Litografii Zakładu Fizyki Ciała Stałego Wydziału Fizyki Uniwersytetu Warszawskiego, a także zaprezentowaliśmy Państwu przebieg prostego procesu technologicznego obejmującego kluczowe etapy fotolitografii, czyli stosowanej na przemysłową skalę techniki „rzeźbienia światłem”. W tym roku postanowiliśmy zawiesić poprzeczkę nieco wyżej i pokazać Państwu bardziej złożony proces, którego efekt pozwala zrozumieć wpływ interferencji światła na postrzeganie barw. Zobaczycie Państwo, jak z pozornie mało ciekawego kawałka krzemu można wydobyć wielokolorowy, pełen szczegółów obraz.
Rekwizyt, który wykorzystaliśmy w czasie naszego pokazu, przygotowaliśmy na dwucalowym podłożu krzemowym pokrytym 300-nanometrową warstwą dwutlenku krzemu. Wykonaliśmy go techniką czteropoziomowej litografii optycznej.
W czasie przygotowania tego rekwizytu wykorzystaliśmy szereg urządzeń dostępnych w laboratoriach Nanotech, takich jak:
- wirówka i płyta grzewcza, służące do pokrywania podłoży fotoczułymi rezystami
- układ do bezmaskowej fotolitografii POLOS µPrinter
- układ do trawienia plazmowego Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP-RIE
- profilometr mechaniczny Veeco Dektak 6M
Polski 
English