Wyposażenie – lista osób odpowiedzialnych
Laboratorium Mikroskopii Sił AtomowycH (AFM)
- Digital Instruments, model: MultiMode AFM-2 z kontrolerem NanoScope IIIA i przystawką Extender Electronics Module.
- Scienta Omicron, model: VT XA zainstalowany w układzie próżniowym z pojedynczą komorą.
- Bruker, model: Dimension Icon z kontrolerem NanoScope VI.
Pracownicy laboratorium AFM:
Laboratorium Mikroskopii elektronowej
Mikroskop elektronowy Dual Beam HELIOS NanoLab 600
Pracownicy laboratorium:
Laboratorium osadzania warstw atomowych (ALD)
Urządzenie do osadzania warstw atomowych ALD (Atomic layer deposition).
Pracownik odpowiedzialny:
Laboratorium Epitaksji ze Związków Metaloorganicznych (MOVPE)
Pracownicy laboratorium MOVPE:
Laboratorium litografii
- Układ do trawienia plazmowego Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP-RIE
- Naparowywarka ze źródłem elektronowym i argonowym działem jonowym Plasmionique EBH600
- Piec do szybkiego wygrzewania SSI Solaris 100 RTP
- Komory rękawicowe, jedna z układem transferowym z mikroskopem odbiciowym Olympus
- Suszarka w punkcie krytycznym Leica EM CPD 300
- Stacja do zarysowywania próbek
- Szafa chemiczna kombinowana ognioodporna 90 min. z urządzeniem filtrującym powietrze CFN 160m3/h
- Zmywarka laboratoryjna Salvislab SC1160
- Demineralizator Hydrolab HLP 5 do wytwarzania wody demineralizowanej
- Dwa mikroskopy optyczne, służące do wizualnej oceny próbek
- Naświetlarka UV – półautomatyczny Mask-Aligner MJB 3
- Suszarka próżniowa Vacuum Drying Oven VT 6025
- Profilometr mechaniczny Veeco Dektak 6M
- Układ do bezmaskowej fotolitografii POLOS µPrinter
- Spin-coatery i hot-plate służące do pokrywania podłoży półprzewodnikowych fotoczułymi rezystami
- Trzy dygestoria, sprzęt szklany i odczynniki chemiczne potrzebne do mokrego trawienia półprzewodników
Pracownicy Laboratorium Litografii:
Laboratorium dyfraktometrii rentgenowskiej
Aparat rentgenowski PANalytical X’Pert PRO
Pracownik odpowiedzialny:
Laboratorium spektrofotometrii
Spektrofotometr UV-Vis-NIR Varian Cary 5000 pozwalający na badania optyczne w zakresie spektralnym 175 – 3300 nm.
Pracownik odpowiedzialny:
laboratorium agilent
Analizator przyrządów półprzewodnikowych Agilent B1500A wraz ze stacją pomiarową (probe station) Cascade Microtech EPS150TRIAX
Pracownik odpowiedzialny:
