Laboratorium Litografii

Pracownicy Laboratorium Litografii:

dr Karol Nogajewski

mgr Natasza Gajda

pomieszczenie biurowe: 01.231

1. Układ do trawienia plazmowego Oxford Instruments Plasmalab System 100 ICP-RIE
2. Naparowywarka ze źródłem elektronowym i argonowym działem jonowym Plasmionique EBH600
3. Piec do szybkiego wygrzewania SSI Solaris 100 RTP
4. Komory rękawicowe, jedna z układem transferowym z mikroskopem odbiciowym Olympus
5. Suszarka w punkcie krytycznym Leica EM CPD 300
6. Stacja do zarysowywania próbek
7. Szafa chemiczna kombinowana ognioodporna 90 min. z urządzeniem filtrującym powietrze CFN 160m3/h
8. Zmywarka laboratoryjna Salvislab SC1160
9. Demineralizator Hydrolab HLP 5 do wytwarzania wody demineralizowanej
10. Dwa mikroskopy optyczne, służące do wizualnej oceny próbek: Nikon Eclipse E200 i 
11. Naświetlarka UV – półautomatyczny Mask-Aligner MJB 3
12. Profilometr mechaniczny Veeco Dektak 6M
13. Układ do bezmaskowej fotolitografii POLOS µPrinter
14. Spin-coatery i hot-plate służące do pokrywania podłoży półprzewodnikowych fotoczułymi rezystami
15. Trzy dygestoria, sprzęt szklany i odczynniki chemiczne potrzebne do mokrego trawienia półprzewodników

W celu poszerzenia gamy tych materiałów o takie, które wykazują bardzo ciekawe właściwości fizyczne, ale są jednocześnie podatne na niekorzystny wpływ czynników atmosferycznych (tlen, para wodna), w laboratorium został zainstalowany układ dwóch połączonych ze sobą komór rękawicowych. Jedna z nich umożliwia pracę w ochronnej atmosferze azotowej o względnym stężeniu tlenu i pary wodnej wynoszącym poniżej 0,5%. Komora ta jest przeznaczona do wstępnego przygotowania próbek, np. przeprowadzenia procesu eksfoliacji mechanicznej kryształów objętościowych. W drugiej, w pełni zautomatyzowanej komorze wypełnionej azotową atmosferą ochronną o stężeniu tlenu i pary wodnej poniżej 0,5 ppm zamknięty został z kolei precyzyjny układ transferowy z mikroskopem odbiciowym Olympus.

Wyposażenie głównego pomieszczenia laboratoryjnego

Wyposażenie laboratorium z żółtym światłem

Naświetlarka UV – półautomatyczny Mask-Aligner MJB 3

Profilometr mechaniczny Veeco Dektak 6M